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ES640充電器件模型(CDM)測試系統(tǒng)

ES640充電器件模型(CDM)測試系統(tǒng),充電器件模型(CDM)靜電放電是微電子電路故障的常見原因。較低電壓下的C??DM放電會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞或損毀靈敏設(shè)備。當(dāng)帶靜電的設(shè)備以不同的電位接觸金屬表面時(shí),通常會(huì)發(fā)生這種情況。這種靜電放電通常具有非??斓纳仙龝r(shí)間。

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  • 更新時(shí)間:2024-09-23
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詳細(xì)介紹

ES640充電器件模型(CDM)測試系統(tǒng)介紹:

1.描述

充電器件模型(CDM)靜電放電是微電子電路故障的常見原因。較低電壓下的CDM放電會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞或損毀靈敏設(shè)備。當(dāng)帶靜電的設(shè)備以不同的電位接觸金屬表面時(shí),通常會(huì)發(fā)生這種情況。這種靜電放電通常具有非??斓纳仙龝r(shí)間。

ES640是一款自動(dòng)化的CDM測試儀,可滿足所有流行的CDM測試方法,支持場感應(yīng)空氣放電方法(FICDM)和接觸放電(LI-CCDM、CC-TLP、RP-CCDM)方法。本測試系統(tǒng)包含計(jì)算機(jī)、環(huán)境控制室、精確的XYZ運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、不同類型的CDM測試儀頭以及自動(dòng)測試和數(shù)據(jù)分析軟件。

以下是ESDEMC ES640 CDM解決方案與其他解決方案的比較,包括Thermo Scientific Orion3 CDM測試儀、Hanwa HED-C5000R等。

2.特點(diǎn)

高分辨率攝像頭(可多達(dá)3個(gè))可輕松進(jìn)行引腳對(duì)齊操作

高分辨率運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)(步長低至1µm)

允許批量測試多個(gè)設(shè)備

正在申請(qǐng)的CCDM方法具有更好的可重復(fù)性

密閉的環(huán)境室提高了干燥單元的效率

支持再生干燥單元(無需氮?dú)猓?/p>

3.應(yīng)用

用于封裝和晶圓級(jí)測試的通用CDM系統(tǒng)

支持許多流行的最新CDM方法:

ANSI/ESDA/JEDEC JS-002(FICDM)

AEC Q100-011 Rev-D (遵循JS-002)

AEC Q101-005 Rev-A (遵循 JS-002)

ANSI/ESD SP5.3.3 (LI-CCDM,需要vf-TLP)

CC-TLP (待批準(zhǔn)的ESDA SP,需要vf-TLP)

我司申請(qǐng)中的RP-CCDM方法

可根據(jù)客戶要求提供已停用或定制的解決方案

機(jī)器人帶電板模型(CBM)和平板ESD測試可自定義尺寸

4.規(guī)格

參數(shù)

ES640-150

ES640-300

單位

備注

最大XY測試面積

≥150X150

≥300X300

mm

探針移動(dòng)面積,可定制

最大DUT面積

160X160

375X425

mm


充電板面積

210X210

395X470

mm


Z行程

≥50

≥150

mm


最小X, Y, Z步長

100

nm


復(fù)位重復(fù)能力

≤±6

μm


測試電壓范圍

±1至2000或4000

V

默認(rèn)2000V,可定制

測試電壓階躍

1

V


測試電壓精度

±1%±0.1V

%V


XY視野分辨率

1920X1080

像素


垂直視野分辨率

2592X1944

像素


運(yùn)行溫度

10至40

°C


運(yùn)行濕度(RH)

10至80

%


電壓

120-240VAC,50/60Hz

VAC


N2或CDA壓強(qiáng)

10–120

PSI


N2或CDA峰值用量

0.2

cfm

或0.34m3h

300 N2箱平均用量

~19

小時(shí)

持續(xù)的@40RH環(huán)境

干燥劑平均用量

~24

小時(shí)

持續(xù)的@40RH環(huán)境

5.訂購信息

編號(hào)

型號(hào)

描述

ES640帶電器件模型(CDM)測試系統(tǒng)

1.1

ES640-150

通用CDM平臺(tái),150X150mm測試區(qū)域,2kV

1.2

ES640-300

通用CDM平臺(tái),300X300mm測試區(qū)域,2kV

1.3

ES640-HC

用于空氣放電方法的濕度調(diào)節(jié)單元 (用戶可重復(fù)使用干燥劑,比N2或CDA的使用成本更低)

1.4

ES640-CV4

放電電壓從2kV提升到4kV

1.5

ES640-CPC

場板定制,用于固定200X300DUT

1.6

ES640-VP1

用于固定DUT的真空泵 (可選,軟件控制)

1.7

ES640-VP2

高壓尖部清潔單元(可選,軟件控制)

ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)配置( 包括AEC_Q100-011D,AEC_Q101-005A在內(nèi)均遵循此標(biāo)準(zhǔn))

2.1

ES640-JS002

JS002放電單元

2.2

ES640-JS002-C

JS002/C101校準(zhǔn)盤(小盤和大盤)

2.3

ES640-JS002-P1

JS002可替代Pogo Pin #1 (直徑0.35mm)

已停用的AEC標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)配置(不推薦用于新設(shè)計(jì))ES640充電器件模型(CDM)測試系統(tǒng)



 
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